集成微系统封装平台建成后将具备硅基微纳加工技术和系统封装技术，面向新型智能传感器和半导体器件开展研发和工程化技术研究，并重点部署了压电MEMS器件、高精度惯性MEMS器件、光学及红外MEMS器件、硅基III-V族器件以及先进集成封装等相关工艺。
更新时间：2023-09-08 直链：mspc.sinano.ac.cn
中国科学院苏州纳米所通过前沿学科交叉，把纳米科技与信息科学，生命科学和物理以及化学等学科结合起来，实现微电子技术到纳米电子技术的无缝过渡；开发智能型微观医疗诊断技术和微观治疗技术。研究内容：研究新型的电子，离子和带电分子在固体，液体和大分子中的运动方式，来设计新的固体纳米器件，合成新型分子器件和分子互联线，在此基础上通过模仿人类和其他动物对外界信息的接收处理方式来设计构造新型计算机；利用纳米材料生长技术和纳米器件制造技术，利用相位控制工程，研究和开发纳米尺度二维和三维无源或有源的声场，毫米波，红外光波，紫外和X射线的相控发射，接收和成像系统。利用这种系统，结合动物昆虫的复眼等仿生技术，对运动目标进行全息成像，关联存储，模式识别，形成对多个运动目标的闭环监控，这将成为微观医疗设备领域，航空航天，汽车防撞系统和人工智能机器人等领域的关键技术。利用高精度纳米材料生长和工艺技术手段，来改进传统微电子产品的制造工艺，提高集成电路产品性能，特别是提高微电子产品的可靠性。
更新时间：2023-08-07 直链：www.sinano.cas.cn
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